621.38
   В14


   
    Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме / Бубнов, Ю. З.Лурье, М. С. [и др.]. - М. : Сов. радио, 1975. - 160 с. - [Б.ц.]
УДК
Рубрики: Энергетика--электроника
Кл.слова (ненормированные):
электроника -- пленка -- нанесение пленки -- квазизамкнутый объем -- 09


Доп.точки доступа:
Бубнов, Ю. З.; Лурье, М. С.; Старос, Ф. Г.; Филаретов, Г. А.
Экземпляры всего: 1
ЧЗ (1)
Свободны: ЧЗ (1)