66
   Т38


   
    Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия. - М. : Энергия, 1978. - 135 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: Химическая технология
Кл.слова (ненормированные):
технология -- аппаратура -- газовой -- эпитаксий -- кремний -- производство -- германий -- пособие -- учебник

Свободных экз. нет