Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 546/Н69
Автор(ы) : Ржанов, А. В.
Заглавие : Нитрид кремния в электронике
Выходные данные : Новосибирск: Наука, 1982
Колич.характеристики :200 с.: ил.
Цена : Б.ц.
УДК : 546 + 546.28.171.1:537.311.33
Предметные рубрики: Химия-- неорганическая химия
Экземпляры :ЧЗ(2)
Свободны : ЧЗ(2)

Доп.точки доступа:
Белый, В. И. \ред.\; Васильева, Л. Л. \ред.\