Главная Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


КНИГИ - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=осаждаемые пленки<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   621.38
   К43


    Киреев, В.
    Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев, В., Столяров, А. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с. - (Мир электроники). - ISBN 5948360393 : 1465.00 р.
УДК
Рубрики: Электротехника--электроника
Кл.слова (ненормированные):
ин09 -- электротехника -- электроника -- микроэлектроника -- химическое осаждение -- газовые фазы -- состав -- параметры оборудования -- процессы -- слои -- осаждаемые пленки -- реагенты


Доп.точки доступа:
Столяров, А.
Экземпляры всего: 1
ЧЗ (1)
Свободны: ЧЗ (1)
Найти похожие
 
© Павлодарский государственный университет им. С.Торайгырова, 2009-2015