539.2
   И75


    Вавилов, В. С.
    Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы : сб. статей / Вавилов, В. С. - М. : Мир, 1980. - 331 с. : ил. - (Новости физики твердого тела ; вып. 10). - 2р.80к. р.
УДК
Рубрики: Физика--строение материи
Кл.слова (ненормированные):
физика -- строение материи -- ионы -- имплантация -- 09

Экземпляры всего: 2
ЧЗ (2)
Свободны: ЧЗ (2)

   539
   Р54


    Риссел, Х.
    Ионная имплантация / Х. Риссел, И. Руге ; пер.: В. В. Климов, В. Н. Пальянов. - М. : Наука, 1983. - 360 с. - 33.00 р.
УДК
Рубрики: Физика--Строение материи
Кл.слова (ненормированные):
физика -- строение материи -- ионы -- имплантация


Доп.точки доступа:
Руге, И.; Климов, В. В. \пер.\; Пальянов, В. Н. \пер.\
Экземпляры всего: 2
АБ (2)
Свободны: АБ (2)

   621.38
   Г74


    Готра, З. Ю.
    Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. - (Справочник). - ISBN 5-256-00699-1 : 30.00 р.
УДК
Рубрики: Электротехника
   Электроника

Кл.слова (ненормированные):
технология -- микроэлектроника -- монокристаллические материалы -- механическая обработка кристаллов -- диффузия в полупроводниках -- ионная имплантация -- технология тонких пленок -- литографические процессы -- сборка микроэлектронных устройств

Экземпляры всего: 1
АБ (1)
Свободны: АБ (1)