539.2
   И75


    Вавилов, В. С.
    Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы : сб. статей / Вавилов, В. С. - М. : Мир, 1980. - 331 с. : ил. - (Новости физики твердого тела ; вып. 10). - 2р.80к. р.
УДК
Рубрики: Физика--строение материи
Кл.слова (ненормированные):
физика -- строение материи -- ионы -- имплантация -- 09

Экземпляры всего: 2
ЧЗ (2)
Свободны: ЧЗ (2)